製品ラインアップ


取り扱いガス: He / Ne / Ar / Kr / Xe / Rn(ノーブルガス6元素)

用途: 半導体・EUV、レーザー、宇宙推進、分析・研究、医療用途

供給形態: 小ロットボンベ〜バルク、液体、トレーラーまで対応

(1)高純度20%フッ素窒素混合ガス(F2/N2)
(2)電子特殊混合ガス(ESG)
(3)N₂O
(4)C2H2アセチレン
(5)5% F2不活性混合ガス
(6)20% F2不活性混合ガス
(7)PH3
(8)PH3/H2 混合ガス
(9)BF3
(10)BF3/H2 混合ガス
(11)GeF4
(12)AsH3
(13)UHP C₂H₂

お問い合わせ

ノーブルガスの調達・安全管理・法規対応については専門スタッフが対応します。まずはお気軽にご相談ください。

     
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