
取り扱いガス: He / Ne / Ar / Kr / Xe / Rn(ノーブルガス6元素)
用途: 半導体・EUV、レーザー、宇宙推進、分析・研究、医療用途
供給形態: 小ロットボンベ〜バルク、液体、トレーラーまで対応
| (1)高純度20%フッ素窒素混合ガス(F2/N2) |
| (2)電子特殊混合ガス(ESG) |
| (3)N₂O |
| (4)C2H2アセチレン |
| (5)5% F2不活性混合ガス |
| (6)20% F2不活性混合ガス |
| (7)PH3 |
| (8)PH3/H2 混合ガス |
| (9)BF3 |
| (10)BF3/H2 混合ガス |
| (11)GeF4 |
| (12)AsH3 |
| (13)UHP C₂H₂ |
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